Vacuum carburizing er að hita vinnustykkið í lofttæmi.Þegar það nær hitastigi yfir mikilvæga punktinum mun það vera í nokkurn tíma, afgasa og fjarlægja oxíðfilmuna og fara síðan inn í hreinsaða kolefnisgasið til kolefnis og dreifingar.Uppkolunarhitastig tómarúmskolunar er hátt, allt að 1030 ℃, og uppkolunarhraði er hratt.Yfirborðsvirkni kolvetna hluta er bætt með afgasun og afoxun.Síðari dreifingarhraði er of hár.Uppkolun og dreifing eru framkvæmd ítrekað og til skiptis þar til tilskildum yfirborðsstyrk og dýpt er náð.
Hægt er að stjórna dýpt og yfirborðsstyrk í lofttæmi;Það getur breytt málmvinnslueiginleikum yfirborðslags málmhluta og árangursríkt kolefnisdýpt þess er dýpra en raunverulegt kolefnisdýpt annarra aðferða.